QMEMS是什么意思

QMEMS是由具有高穩(wěn)定、高精度等優(yōu)越特征的石英材料“QUARTZ”和“MEMS”（精微加工技術(shù)）組成的合成詞。與以半導(dǎo)體為材料的MEMS相對(duì)應(yīng)，以石英為 原料進(jìn)行精微加工，提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為“QMEMS”。 QMEMS是愛(ài)普生拓優(yōu)科夢(mèng)（Epson Toyocom）的注冊(cè)商標(biāo)。